Informazioni sul cliente
Una società di semiconduttori senza fabbrica che esternalizza la produzione di chip avanzati.La loro stanza pulita esistente non poteva soddisfare i severi requisiti di vibrazione e purezza dell'aria per la litografia ad immersione a 193 nm., causando una perdita di rendimento.
Necessità e sfide
·Classe ISO 5 (classe 100) sulla superficie del wafer.
·Controllo rigoroso della temperatura: 22 ± 0,1°C attraverso la zona di fotolitografia.
·Corto tempo di inattività: solo 1 mese disponibile per il retrofit della baia esistente.
Soluzione
·Progettazione mini-ambiente: isolamento del passo con unità di filtro ventilatore (FFU) e filtri chimici per AMC.
·Isolamento da vibrazioni attive: blocco di inerzia in calcestruzzo + isolatori pneumatici per soddisfare i criteri VC-D.
·HVAC ad alta precisione: doppi circuiti dell'acqua refrigerata con riscaldamento, più terminali a volume d'aria variabile (VAV).
·Pannelli prefabbricati: pannelli in acciaio inossidabile fabbricati fuori sede con giunzioni a cam-lock. Installati durante una chiusura di manutenzione pianificata completata in 25 giorni.
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Feedback dei clienti
¢Yaning ha compreso i nostri requisiti di attrezzatura meglio di altri appaltatori di cleanroom.
¢ Facility Manager, cliente dei semiconduttori
Riassunto
Yaning è specializzata nel campo dell'ingegneria delle stanze pulite.Le nostre soluzioni modulari rappresentano una scelta ideale per le zone di produzione pulite nel settore manifatturiero.